具有特点
第一：灵活性。因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。
第二：可再利用性。从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三：负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。
第四：缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。
第五：减少运行成本。虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。用在循环减少40%的运行成本。
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型号 |
Z-FFU-2 |
Z-FFU-1 |
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FFU尺寸 |
1176*576*380mm |
1226*616*380mm |
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过滤器尺寸 |
1170*570*69mm |
1220*610*69 mm |
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风量 |
1300 m3/h |
1800m3/h |
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调速控制 |
风量调速器可任意调整风量大小 |
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电压/电流 |
单相220V/50HZ |
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输出功率 |
140W-240W |
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过滤器效率 |
HEPA0.3um99.99%以上 |
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重量 |
20KG |
25KG |
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