洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。
●电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
●电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
●电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
● 电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值:
● 补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
● 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量,应取下面三项最大值:
●保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量:
●根据热,湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量:
●向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量:
LED净化车间工程安装施工案例分析:在本设计里是指末端工艺的一些净化无尘车间安装,其净化洁净度一般为千级或万级或十万级
LED无尘车间安装室内空气参数要求:
1)温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。
2)新风量大。由于这类净化无尘车间内人员比较多,可以根据以下数值应取下列的最大值:非单向流净化无尘室车间总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。
3)送风量大。为了满足无尘净化车间内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是万级净化无尘车间,送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);如果是十万级净化无尘车间,送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数,是≥15次/h)。
医疗卫生
光电光学制品无尘车间一般适用于电子仪器仪表、计算机、半导体厂、汽车工业、航天工业、光刻、微机制造等行业,除了要空气洁净度以外,还要保证达到除静电的要求。下面以现代最为代表的LED行业为例,介绍光电光学行业无尘净化车间
LED净化车间工程安装施工案例分析:在本设计里是指末端工艺的一些净化无尘车间安装,其净化洁净度一般为千级或万级或十万级净化无尘车间安装。
背光屏类无尘车间安装主要是这类产品的冲压车间、组装等净化无尘车间,其洁净度一般为万级或十万级净化无尘车间。
LED无尘车间安装室内空气参数要求:
1)温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。
2)新风量大。由于这类净化无尘车间内人员比较多,可以根据以下数值应取下列的最大值:非单向流净化无尘室车间总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。
3)送风量大。为了满足无尘净化车间内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是万级净化无尘车间,送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);如果是十万级净化无尘车间,送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数,是≥15次/h)。
1、人 流
1-1、人员净化:
1-2、洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时,应设气闸室;
1-3、单人空气吹淋室,应按最大班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设单向旁通门;
1-4、空气吹淋室的进、出门不得同时开启,应采取连锁控制措施;
1-5、空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室,宜设气闸室。
2、物 流
2-1、洁净室内的设备和物料出入口,应独立设置,并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应的物净设施。
2-2、物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。
3、静压差
3-1、不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa;
3-2、洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa;
3-3、洁净室与室外的静压差应大于10Pa。
净化原理
气流→初效净化→加湿段→加热段→表冷段→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化车间目的
结构材料
1.净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,其特点为美观、刚性强。角与角之前的拼接选用圆弧连接,宜清洁,符合GMP要求
2.地坪:可采用2mm/3mm环氧树脂或是PVC地坪,电子厂房选用防静电地坪
3.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4.高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁 。
净化参数
换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。
压差:主车间对相邻房间≥5Pa平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;
温度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波动±2℃。
湿度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX
净化无尘车间安装。
背光屏类无尘车间安装主要是这类产品的冲压车间、组装等净化无尘车间,其洁净度一般为万级或十万级净化无尘车间。
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